靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料。靶材种类比较多,有金属类、合金类、氧化物类等等,用的行业也有所不同,应用很广泛。那么常见的金属靶材有哪些? 常见金属靶材的种类如下：
常规金属靶材：镁Mg、锰Mn、铁Fe、钴CO、镍Ni、铜Cu、锌Zn、铅Pb、锡Sn、铝Al
小金属靶材:铟In、锗Ge、镓Ga、锑Sb、铋Bi、镉Cd
难熔金属靶材:钛Ti、锆Zr、铪Hf、钒V、铌Nb、钽Ta、铬Cr、钼Mo、钨W、铼Re
贵金属靶材:金Au、银Ag、钯Pd、铂Pt、铱lr、钌Ru、铑Rh、锇Os
半金属靶材:碳C、硼B、碲Te、硒Se
稀土金属靶材:钆Gd、钐Sm、铈Ce、钇Y、镧La、镱Yb、铒Er、铽Tb、钬Ho、铥Tm、钕Nd、镨Pr、镥Lu、铕Eu、钪Sc
陶瓷靶材:氧化锌铝Az0、氧化铟锡ITO、氧化锌Zn0、氮化铝 AN、氮化钛TN、氮化硼BN、钛酸钡 Batio3、钛酸铋 BIlio3、碳化硅SiC、钛酸锶 Srtio3、碳化钛TC、碳化钨WC、铌酸锂 Linbo3
